上海伯東德國 Pfeiffer 殘氣質譜儀 RGA 應用于角分辨光電子能譜儀 XPS
光電子能譜儀（photoelectron spectrograph）利用光電效應測出光電子的動能及其數量的關系，由此來判斷樣品表面各種元素含量，并可分析固、液、氣樣品中除氫以外的一切元素。
角分辨 XPS 應用于各種固體材料表面（界面）的元素及化學態的定性、半定量、結構分析及化學

鍵研究。

使用上海伯東德國Pfeiffer殘氣分析質譜 QMG，對XPS系統的分析室殘余氣體進行定性和半定量分析，并針對殘余氣體進行除氣措施，從而達到清潔樣品表面，減少空氣分子與標的電子的碰撞，最終得到金屬材料表面的元素及結構分析信息。

上海伯東客戶案例：上海某大學
角分辨光電子能譜儀+Pfeiffer殘余氣體分析質譜應用試驗條件：
金屬樣品厚度：2nm
主真空室：1×10^-10 Torr
分辨率：0.8cV
電子槍束斑：75nm
靈敏度：80KCPS
信噪比：大于70:1
角分辨：5°～90°
靈敏度：255 KCPS A1/Mg雙陽極靶
能量分辨率：0.3% 位置靈敏檢測器（PSD）  
角分辨光電子能譜儀配套上海伯東德國 Pfeiffer QMG 質譜分析儀配置:
1.測量范圍:1-300amu
2.檢測方式:Faraday/C-SEM
3.加熱溫度:1-200℃
4.離子源:開放式離子源

Pfeiffer 殘余氣體質譜分析儀與友廠同級別質譜分析儀相比，更適用于移動應用，并且提供高解析度和靈敏度，可對氣體進行定性和定量分析，應用范圍廣泛，從大氣壓力到高真空均可使用。

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